Hiermit können, hochauflösende Oberflächenanalysen von Partikeln, Beschichtungen, Substraten, Werkstoffen und Bauteilen erstellt werden, wobei die Auflösung im (Sub-)Nanometerbereich liegt. Dadurch ist es möglich, neben der im Gerät integrierten lichtmikroskopischen Information, eine äußerst detaillierte Profildarstellung zu erhalten.

Das vom Freistaat Thüringen geförderte Vorhaben wurde durch Mittel der europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) kofinanziert.